Mikrofluidvorrichtung mit Ultraphoben Oberflächen
EP1618035
Art A2
25. Januar 2006
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1618035
- Aktenzeichen
- EP04759543
- Anmeldetag
- 15. April 2004
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F15D1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Legg, Cyrus James Grahame
London, Großbritannien
662
Patente gesamt
31
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19
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