Verfahren zur Herstellung einer Nanolücke für Variable Kapazitive Elemente

EP1618599 Art B1 11. Mai 2011

Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH, The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University, THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1618599
Aktenzeichen
EP04759726
Anmeldetag
22. März 2004
Veröffentlichung
11. Mai 2011
Erteilung
11. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01G5/16B81C1/00H01L29/82H01L29/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ROBERT BOSCH GMBH
The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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