Verfahren und Vorrichtung zur Strukturierten Abscheidung von Nanostrukturhaltigen Materialien durch Selbstorganisation und Zugehörige Gegenstände

EP1618601 Art A2 25. Januar 2006

Anmelder: THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1618601
Aktenzeichen
EP04749410
Anmeldetag
19. März 2004
Veröffentlichung
25. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/26B05D1/18B05D3/06B05D5/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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