Vorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Plasmas
EP1618767
Art B1
20. Juni 2007
Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1618767
- Aktenzeichen
- EP04727950
- Anmeldetag
- 16. April 2004
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2007
- Erteilung
- 20. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/24H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Booth, Andrew Steven
West, Großbritannien
355
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte