Verfahren zum Entfernen von Titannitrid
EP1619268
Art A3
14. Juni 2006
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1619268
- Aktenzeichen
- EP05015784
- Anmeldetag
- 20. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B08B7/00H01L21/00C23F1/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kador, Utz Ulrich
München, Deutschland
107
Patente gesamt
27
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kador, Ulrich
NoneMünchen