Belichtungsapparat und Methode zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

EP1619407 Art A1 25. Januar 2006

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1619407
Aktenzeichen: EP05015330
Anmeldetag: 14. Juli 2005
Veröffentlichung: 25. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: F16F7/10G03F7/20F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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