Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle einer Probenoberfläche und Verwendung von fluoreszierenden Materialien

EP1619495 Art A1 25. Januar 2006

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1619495
Aktenzeichen
EP04077130
Anmeldetag
23. Juli 2004
Veröffentlichung
25. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/225H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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