Laserbearbeitung mit einem Aktiven Hilfsgas
EP1620883
Art B1
8. Oktober 2008
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc., Xsil Technology Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1620883
- Aktenzeichen
- EP04716586
- Anmeldetag
- 3. März 2004
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2008
- Erteilung
- 8. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065B23K26/12H01L21/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Electro Scientific Industries, Inc.
Xsil Technology Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Vertreten von
Want, Clifford James
London, Großbritannien
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17
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Schwerpunkte