Halbleiterbauelement und Prozess zu Seiner Herstellung

EP1622194 Art A1 1. Februar 2006

Anmelder: Ohmi, Tadahiro, TOKYO ELECTRON LIMITED, OHMI, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1622194
Aktenzeichen: EP04727121
Anmeldetag: 13. April 2004
Veröffentlichung: 1. Februar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316H01L21/336H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ohmi, Tadahiro
TOKYO ELECTRON LIMITED
OHMI, Tadahiro
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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