Halterungssystem Einsetzbar über einen Breiten Temperaturbereich
EP1623452
Art B1
22. November 2006
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1623452
- Aktenzeichen
- EP04760895
- Anmeldetag
- 6. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 22. November 2006
- Erteilung
- 22. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Heuckeroth, Volker
Stuttgart, Deutschland
172
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte