Belichtungsapparat geeignet für Immersion mit Flüssigkeit, dessen Steuerungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1624341
Art A3
22. November 2006
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1624341
- Aktenzeichen
- EP05017010
- Anmeldetag
- 4. August 2005
- Veröffentlichung
- 22. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G05B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Weser, Wolfgang
München, Deutschland
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