Baffle mit einer Steuerung der Ablagerung von Verunreinigungen mit einem Kapazitaetsdifferenz - Druckwandler
EP1627214
Art B1
29. September 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1627214
- Aktenzeichen
- EP04751837
- Anmeldetag
- 10. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 29. September 2010
- Erteilung
- 29. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L19/06G01L9/12H01L21/00C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Brown, Kenneth Richard
London, Großbritannien
983
Patente gesamt
29
Fachgebiete
15
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Schwerpunkte