Magnetron-Sputter-Kathode mit Kühlplatte

EP1627414 Art B1 29. Dezember 2010

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1627414
Aktenzeichen
EP04709126
Anmeldetag
7. Februar 2004
Veröffentlichung
29. Dezember 2010
Erteilung
29. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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