Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1628162 Art B1 29. April 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1628162
Aktenzeichen
EP05254919
Anmeldetag
5. August 2005
Veröffentlichung
29. April 2009
Erteilung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B5/18G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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