Flüssigkeitsimmersionsbelichtungsverfahren und -Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1628330 Art A1 22. Februar 2006

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1628330
Aktenzeichen: EP04734933
Anmeldetag: 26. Mai 2004
Veröffentlichung: 22. Februar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G02B13/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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