Polierflüssigkeit für einen Cmp-Prozess und Polierverfahren
Anmelder: SANYO CHEMICAL INDUSTRIES LTD., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1628334
- Aktenzeichen
- EP04731712
- Anmeldetag
- 7. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304C09G1/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- SANYO CHEMICAL INDUSTRIES LTD.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇯🇵 Japan
Sanyo Chemical Industries ist ein japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf Tenside, Polymere und Spezialchemikalien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Farben, Klebstoffe und Halbleiterwerkstoffe, ergänzt um Optik und Medizintechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
428 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank