Verfahren zur Entfernung von in der Luft Enthaltenen Molekularen Verunreinigungen unter Verwendung von Sauerstoff- Und/oder Dampfgemischen
EP1629528
Art A1
1. März 2006
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1629528
- Aktenzeichen
- EP04753969
- Anmeldetag
- 1. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 1. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306B01D53/00B01D53/72
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte