Filtereinheit mit Entlüftungsmechanismus

EP1629875 Art A1 1. März 2006

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1629875
Aktenzeichen
EP04730638
Anmeldetag
30. April 2004
Veröffentlichung
1. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/00B01D35/01
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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