Optisches Projektionssystem und Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP1630585 Art A1 1. März 2006

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1630585
Aktenzeichen: EP04731484
Anmeldetag: 6. Mai 2004
Veröffentlichung: 1. März 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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