Positions-Informationsmessverfahren und -Einrichtung und Belichtungsverfahren und -System

EP1630857 Art A1 1. März 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1630857
Aktenzeichen
EP04745382
Anmeldetag
27. Mai 2004
Veröffentlichung
1. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G01B11/00G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Schmidt, Karsten München, Deutschland
375
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik
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