Substratverarbeitungssystem

EP1630858 Art B1 15. Februar 2012

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro, OHMI, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1630858
Aktenzeichen
EP04717277
Anmeldetag
4. März 2004
Veröffentlichung
15. Februar 2012
Erteilung
15. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro
OHMI, Tadahiro
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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