Probenuntersuchungseinrichtung und Verfahren und Bauelementeherstellungsverfahren mit der Probenuntersuchungseinrichtung und dem Verfahren
EP1630862
Art B1
13. Januar 2016
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1630862
- Aktenzeichen
- EP04745387
- Anmeldetag
- 28. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 13. Januar 2016
- Erteilung
- 13. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/29H01L21/66H01J37/304G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Geyer, Ulrich F
München, Deutschland
481
Patente gesamt
29
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte