Antenne zur Erzeugung Gleichförmiger Prozessraten
EP1632006
Art B1
20. April 2011
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1632006
- Aktenzeichen
- EP04710690
- Anmeldetag
- 12. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 20. April 2011
- Erteilung
- 20. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J7/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
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