Verfahren zur Bestimmung von physikalischen Eigenschaften einer optischen Schicht oder eines Schichtsystems

EP1632746 Art B1 3. Oktober 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1632746
Aktenzeichen: EP04021243
Anmeldetag: 7. September 2004
Veröffentlichung: 3. Oktober 2007
Erteilung: 3. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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