Teilchenstrahl-Raster-Instrument
EP1632980
Art B1
18. Januar 2012
Anmelder: Carl Zeiss NTS Limited, Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1632980
- Aktenzeichen
- EP05018964
- Anmeldetag
- 31. August 2005
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2012
- Erteilung
- 18. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244H01J37/28H01J37/26H04N5/57
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss NTS Limited
Carl Zeiss SMT Limited - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Roberts, David Leslie
Cambridge, Großbritannien
96
Patente gesamt
25
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte