Immersionsbelichtungsverfahren und -Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1632991 Art B1 16. Mai 2018

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1632991
Aktenzeichen: EP04734603
Anmeldetag: 24. Mai 2004
Veröffentlichung: 16. Mai 2018
Erteilung: 16. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von