Vorrichtung zur Erzeugung von Strahlung, Lithographiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Bauteils und dieses

EP1633171 Art B1 22. September 2010

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1633171
Aktenzeichen
EP05106446
Anmeldetag
14. Juli 2005
Veröffentlichung
22. September 2010
Erteilung
22. September 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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