Substratpoliergerät
EP1633528
Art B1
2. Februar 2011
Anmelder: EBARA CORPORATION, SHIMADZU CORPORATION, Shimadzu Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1633528
- Aktenzeichen
- EP04733975
- Anmeldetag
- 19. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2011
- Erteilung
- 2. Februar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B49/12B24B37/04H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
SHIMADZU CORPORATION
Shimadzu Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
373 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Shimadzu
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.
2.214 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte