Verfahren zur Herstellung Hochreiner Lösungen unter Verwendung von Gasförmigem Fluorwasserstoff

EP1633675 Art A1 15. März 2006

Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1633675
Aktenzeichen
EP04754501
Anmeldetag
4. Juni 2004
Veröffentlichung
15. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C01B7/19C01B9/08C01C1/16C09K13/08H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Honeywell International Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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