Verfahren zur Herstellung Aluminiumhaltiger Filme mittels Amino-Aluminium Precursoren

EP1633904 Art B1 11. Februar 2009

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1633904
Aktenzeichen
EP04733869
Anmeldetag
19. Mai 2004
Veröffentlichung
11. Februar 2009
Erteilung
11. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/34C23C16/30H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air liquide, Société anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés G. Claude
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Vesin, Jacques Paris, Frankreich
81
Patente gesamt
16
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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