Verfahren zur Korrektur der chromatischen Aberration eines Teilchenstrahls, und Teilchenstrahlapparat
EP1635373
Art B1
21. März 2012
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1635373
- Aktenzeichen
- EP05255626
- Anmeldetag
- 14. September 2005
- Veröffentlichung
- 21. März 2012
- Erteilung
- 21. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/22H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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