Elektronenstrahleinrichtung, Elektronenstrahl-Untersuchungsverfahren,elektronenstrahl-Untersuchungseinrichtung, Musteruntersuchungsverfahren und Verfahren zur Bestimmung des Belichtungszustands
EP1635374
Art A1
15. März 2006
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1635374
- Aktenzeichen
- EP04729530
- Anmeldetag
- 26. April 2004
- Veröffentlichung
- 15. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/225H01J37/05H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
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17
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Schwerpunkte