Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Fluiden

EP1635932 Art A2 22. März 2006

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1635932
Aktenzeichen
EP04753564
Anmeldetag
27. Mai 2004
Veröffentlichung
22. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B01D61/00// B01D53/22B01D63/02B01F3/04C01D7/07
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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