Systeme zur Inspektion Strukturierter oder Unstrukturierter Wafer und Anderer Proben
EP1636572
Art B1
7. Oktober 2009
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, KLA-Tencor Technologies Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1636572
- Aktenzeichen
- EP04754334
- Anmeldetag
- 4. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2009
- Erteilung
- 7. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
KLA-Tencor Technologies Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lohr, Georg
Puchheim, Deutschland
448
Patente gesamt
33
Fachgebiete
12
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