Verfahren zur Bereitstellung einer Eingegrenzten Flüssigkeit für die Immersionslithographie
EP1636654
Art B1
21. April 2010
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1636654
- Aktenzeichen
- EP04756062
- Anmeldetag
- 23. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 21. April 2010
- Erteilung
- 21. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
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14
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Schwerpunkte