Verfahren und Vorrichtung zur Elektrischen Verbindung von in Relativer Nähe Positionierten Hochspannungsmodulen

EP1636877 Art B1 12. September 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1636877
Aktenzeichen: EP04776566
Anmeldetag: 14. Juni 2004
Veröffentlichung: 12. September 2012
Erteilung: 12. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01R13/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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