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EP1637206 Art B1 25. Juli 2007

Anmelder: ENTEGRIS, INC., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1637206
Aktenzeichen
EP05077429
Anmeldetag
13. September 2002
Veröffentlichung
25. Juli 2007
Erteilung
25. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ENTEGRIS, INC.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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