Chemisch-mechanisches Polierkissen und chemisch-mechanisches Polierverfahren

EP1637281 Art B1 28. Mai 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1637281
Aktenzeichen: EP05019344
Anmeldetag: 6. September 2005
Veröffentlichung: 28. Mai 2008
Erteilung: 28. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24D13/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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