Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1637931
Art B1
31. Oktober 2007
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1637931
- Aktenzeichen
- EP05255472
- Anmeldetag
- 7. September 2005
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2007
- Erteilung
- 31. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
2.212
Patente gesamt
31
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte