Vorrichtung zum Teilen und Zuführen eines Gasstroms aus einer mit einer Strömungsratenregeleinrichtung Ausgestatteten Gaszuführungsanlage in eine Kammer
EP1637950
Art A1
22. März 2006
Anmelder: Fujikin Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED, FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1637950
- Aktenzeichen
- EP04745747
- Anmeldetag
- 10. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 22. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED
FUJIKIN INCORPORATED - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
452 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Arrowsmith, Peter Michael E
London, Großbritannien
170
Patente gesamt
28
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hector, Annabel Mary
NoneLondon