Verfahren und System zur Bearbeitung von Mikromerkmale Aufweisenden Werkstücken mit Strömungsrührwerk Und/oder mehreren Elektroden
EP1638732
Art A2
29. März 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc., SEMITOOL, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1638732
- Aktenzeichen
- EP04754300
- Anmeldetag
- 3. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 29. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
SEMITOOL, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Klunker, Hans-Friedrich
München, Deutschland
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