Verwendung Isotopisch Spezifizierter Fluide als Optische Elemente

EP1639391 Art A2 29. März 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1639391
Aktenzeichen
EP04777380
Anmeldetag
30. Juni 2004
Veröffentlichung
29. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G02B3/12G02B21/33G02B1/06G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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