Verfahren und Entwurf für die Sputter-Target-Anbringung an eine Rückplatte

EP1639620 Art A2 29. März 2006

Anmelder: CABOT CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1639620
Aktenzeichen
EP04755508
Anmeldetag
17. Juni 2004
Veröffentlichung
29. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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