Leitender Polierkörper zum elektrochemisch-mechanischen Polieren

EP1640113 Art B1 27. Mai 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1640113
Aktenzeichen
EP05077958
Anmeldetag
10. April 2002
Veröffentlichung
27. Mai 2009
Erteilung
27. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D13/14B23H5/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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