Silanpolymer und Verfahren zur Bildung von Siliciumfilm

EP1640342 Art A1 29. März 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1640342
Aktenzeichen: EP04746061
Anmeldetag: 11. Juni 2004
Veröffentlichung: 29. März 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/04C01B33/021H01L21/208C08L83/16C08G77/60C09D183/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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