Abscheidung von TiN-Schichten in einem Batch-Reaktor
EP1641031
Art B1
8. Mai 2019
Anmelder: ASM INTERNATIONAL N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1641031
- Aktenzeichen
- EP05011705
- Anmeldetag
- 31. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2019
- Erteilung
- 8. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34H01L21/285C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASM INTERNATIONAL N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Vertreten von
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