Verfahren zur Trennung von Chips

EP1641038 Art B1 10. August 2011

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1641038
Aktenzeichen
EP05447213
Anmeldetag
21. September 2005
Veröffentlichung
10. August 2011
Erteilung
10. August 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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