Gerät und Verfahren zur Reinigung von Korrodierenden Gasströmen
EP1641553
Art A1
5. April 2006
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1641553
- Aktenzeichen
- EP04776959
- Anmeldetag
- 23. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 5. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/28B01D53/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
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18
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