Reinigungsmittel, Verfahren zur Reinigung von Halbleitersubstrat sowie Verfahren zur Ausbildung der Leitungsbahnen auf Halbleitersubstrat

EP1641908 Art B1 17. November 2010

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., Intel Corporation, INTEL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1641908
Aktenzeichen
EP04746420
Anmeldetag
18. Juni 2004
Veröffentlichung
17. November 2010
Erteilung
17. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00H01L21/306C11D7/32C11D7/06C11D7/50C11D7/34C11D7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Intel Corporation
INTEL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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