Spiegelfacette und Herstellverfahren dafür
EP1642173
Art A1
5. April 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1642173
- Aktenzeichen
- EP04740785
- Anmeldetag
- 8. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 5. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/09G02B5/04B24B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte